[Mahr] 측정길이:0.2mm~120mm, 분해능:0.04µm
[Mahr] 측정 거리(X 방향): 140mm, 분해능: 19nm
[Mitutoyo] 구동최대(mm): 100, 검출범위(mm): 50, 컬럼최대(mm): 350
